刊物及广告资料 > 刊物简介 > 无线电技术 > 第552期 设计资源
利用独特的版图编辑和验证功能,化解 MEMS 设计挑战
2019-06-01
自能够使用改良的半导体器件制造技术制造 MEMS 器件以来,微机电系统 (MEMS) 便一直保持着飞快的发展速度。在 IC 设计中广泛使用的版图工具自然而然也成为了MEMS 版图设计的首选工具。尽管 IC 版图工具已相当成熟,并且具有丰富的 IC 应用功能,但若要高效应对 MEMS 版图带来的挑战,其中许多工具仍有些力不从心。
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